サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS（マイクロマシン）作製技術の一つ。薄膜（数μm程度）を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。の繰り返しでデバイスを作製する。

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