オルトケイ酸テトラエチルは、化学式がSi(OCH)である化合物であり、英語名のTetraethyl orthosilicateを略して、TEOS(テオス)とも呼ばれる。この分子は中心のSiOイオン（オルトケイ酸イオン）にエチル基が4つついた構造をしている。溶液中のイオンとしてはオルトケイ酸イオンは存在せず、TEOSはオルトケイ酸（Si(OH)）のエチルエステルであるとも解釈できる。消防法による第4類危険物 第2石油類に該当する。TEOSは正四面体構造をとる。類縁体が数多く存在するが、たいていは四塩化ケイ素のアルコールによる加溶媒分解により合成される。ここでRはメチル基、エチル基などのアルキル基。TEOSは主に、シリコーン樹脂の架橋剤として用いられている。また、カーペットなどのコート剤として用いられるほか、エアロゲルを作るのにも使われる。これらの用途は、Si-OR結合の反応性を利用している。二硫化ケイ素とエタノールが反応しても、TEOSが生ずる。また、TEOSは簡単に二酸化ケイ素へと変化させることができるが、この反応は水の付加によって起こる。この加水分解反応はゾルゲル法の一例でもあり、エタノールが副生成物である。この反応は、鉱物のようにSi-O-Si結合を持った固体へとTEOS分子が変化し、沈殿する形で進んでいく。反応速度は、触媒として働く酸や塩基の存在によって大きく変化する。600℃以上の高温下では、TEOSはジエチルエーテルを生成して二酸化ケイ素へと変化する。

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