走査型近接場光顕微鏡(そうさがたきんせつばこうけんびきょう、; )は、近接場光という特殊な光を利用した走査型の顕微鏡のことである。しばしば ()とも呼ばれる。細いプローブで試料を走査するという点では走査型トンネル顕微鏡()や原子間力顕微鏡()などと同様の仕組みであり、 も走査型プローブ顕微鏡()の一種類といえる。これまで顕微鏡の分解能は長い間、レンズ等の光学部品の精度で決定されてきたが、光学部品の加工精度が十分に発達した現在では、従来の光学顕微鏡の分解能は光の回折限界による光の半分の波長という制限に縛られている。光の中の波長より小さな物体には、光電場により原子の電気双極子が誘起されるが、この電気双極子が作る振動電界のうち、この小物体の直径程度のごく近くにある電磁界は周囲へはほとんど伝播せず減衰する。この発生した電磁界が近接場である。さらにこの近接場の中に微小な物体を散乱体として置くと、ふたたび伝播光となるのでこの微小な散乱体を観測することが可能になる。この新たな光が近接場光(エバネッセント光)である。同様の効果により光は波長以下の極微細な穴を通すことで近接場となり、試料に作用して近接場光が発生する。これにより光の波長による光学分解能の限界を超えた光学的観察が可能となる。ただ、近接場はその名のとおり発生点の近くでしか存在しないため、近接場光を発生するには穴そのものを観察対象となる試料に近付ける必要がある。またそのままでは試料の点データしか得られない為、平面の画像データを得るためには近くで縦横2次元的に動かしてやる必要がある。試料を反射したり透過した散乱光や蛍光の強弱を表面(反射型)または裏面(透過型)から検出し近接場光の位置データと合わせる事で、試料の2次元画像が得られる。1928年、イギリスの科学者 Synge により狭い開口部により光の回折限界を越える顕微鏡のアイデアが考案されていたが、技術的困難さのため長い間実現しなかった。長い間、彼の考えは忘れ去られていたが、やがて1984年、Pohl らの論文をきっかけに、実用的な走査型近接場光顕微鏡(以下 と略)の原型となる開発が行われ、1985年には光学測定機器の回折限界を超えた 20nm という高い空間解像度が実現できた。マイクロピペットのテーパーを改良し液体を満たすことによって、さらに高分解能の が実現した。最近では、マイクロピペットの代わりに細く絞った光ファイバを用いる(照射モード )。SNOMには大きく分類して2つの検出方式がある。また、原理で述べたように近接場光の測定方向の違いで反射型と透過型に分かれる。以下のような から発展した顕微鏡がある。 や他の先端派生技術による多様な改良機種が存在するので、すべてはここでは網羅されていない。
出典:wikipedia
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