オージェ電子分光（オージェでんしぶんこう）は、電子分光のひとつ。原子の内殻電子をX線や電子ビームで放出させると、励起状態イオンが生成するが、励起状態イオンは(1)特性X線を放出する、(2)内殻軌道に外殻電子が遷移し、そのエネルギーをもって他の外殻電子が放出され、多重イオン化する、のいずれかの過程で脱励起する。(2)の過程はオージェ過程と呼ばれ、ピエール・オージェが1925年に発見した。放出されるオージェ電子の運動エネルギーは、内殻電子と2個の外殻電子の束縛エネルギーから算出され、これら束縛エネルギーは原子毎に固有なことから、3電子過程を行い得ない水素、ヘリウム以外の元素を検出分析することができる。測定は、真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出される電子の速度（運動エネルギー）を分析、検出する電子分光器を用いる。測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数ｎｍ以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、薄膜等の検出・測定に広く用いられている。

出典:wikipedia