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クヌーセンセル

クヌーセンセルは、比較的分圧の低い元素ソースの蒸着源として結晶成長学の分野でよく用いられる。例として、ガリウム、アルミニウム、水銀、ヒ素などがある。この方法は蒸発温度制御が容易であるため、分子線エピタキシーでは一般的に使われている。典型的なクヌーセンセルは、るつぼ(熱分解窒化ホウ素、石英、タングステン、グラファイトなどでできている)、加熱フィラメント(タンタル製のことが多い)、冷却水装置、熱シールド、開口部シャッターからなっている。

出典:wikipedia

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