ケイ素には多くの同位体が存在するが、その質量数は22から44の間である。Si（最も豊富な同位体；92.23%）、Si(4.67%)、Si(3.1%)が安定同位体である。Siはアルゴンの崩壊で生じる放射性同位体であり、半減期約132年でβ崩壊によりPに崩壊し、Pは半減期14.28日でβ崩壊してSを生成する。標準原子量は28.0855(3) u。

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