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揺動ピストン型ポンプ

揺動ピストン型真空ポンプ(ようどうピストンがたしんくうポンプ)は真空ポンプの一種であり、油回転ポンプより堅牢、かつ排気量も大きなものが多い。しかし回転ポンプに比べ振動が大きく、油回転ポンプでは難しい,大きな排気量を必要とする用途にのみ使われる。大型のものでは冷却水を必要とする場合もある。到達圧力は1Pa程度である。オイルを使わないタイプの揺動ピストン型も市販されており、こちらのほうは小型のものが市販されているが、到達圧力は10Pa台であるためアスピレータや真空チャックなどの低真空領域で使われる。

出典:wikipedia

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