超音波モータ (ちょうおんぱモータ)とは、超音波振動を利用しロータあるいは リニア被駆動体を駆動する方式のモータ。駆動するための振動周波数が超音波領域になるために名づけられた。英語表記は USM (Ultrasonic Motor)、 またはHSM（Hypersonic Motor)。その区分は、波動原理から進行波型・定在波型、振動モードから共振型・非共振型、形状から円板型・平板型・くさび型があるが、実用化されているのは平板共振型、あるいは円板進行波型超音波モータなのでこちらを指す場合が多い。圧電効果を利用しているものは圧電モータと呼ばれることもある。円板進行波型は指田年生によって考案された。縦屈曲多重振動子の振動解析は、日本において、1965年（昭和40年）頃に電電公社研究員の十文字弘道が行っている。縦屈曲多重モード平板振動子の超音波モータへの利用に関しては1987年頃に山形大学の富川義朗によって提案され、当初は紙送りへの応用研究が為されている。富川らによって、十文字や近野正らによって当時までに盛んに研究されていたメカニカルフィルタに関する多重モード振動子を超音波モータに応用する考案が多数試されており、平板モータもその一部である。これらの研究は、日本音響学会や超音波研究会などの国内学会で発表され、特許に関して少なくとも日本国内においては縦屈曲多重モード振動子は既知とされたため、その後現在に至るまで多種の応用に繋がっている。ローレンツ力を利用した従来型のモータと比べて高精度で位置決めが出来る。静止時の保持力が大きく、無通電で保持できるため、静止時の発熱が少ない。構造上磁石を備えていないため、材料の選定によって超非磁性化が可能である。従来型モータに比べ小型化に適している為、今後、微細加工技術の進展に伴いMEMSでの開発が進みつつある。一方、従来型のモータの効率がいずれも90 %以上あるのに対して超音波モータの効率は低く、駆動電圧が高い等の特徴がある。寿命は従来型のモータと比べて短く、高精度な金属部品を多く使うため、コストも割高となっている。圧電素子等により発生させた超音波振動を利用してくさびを振動させ、先端を楕円運動させて接触しているロータを駆動する。共振させることにより高効率で、高速回転が可能であるが、接点の発熱と磨耗により寿命が短い。圧電素子等により発生させた超音波振動（10-100kHz程度）を利用してステータにたわみ波動を発生させ、その進行波を利用してロータを駆動する。ステータの進行波をロータに伝えるためにある程度の圧力で押さえる必要があり、接触面の精度を高くする必要がある。ステータの進行波がうまく伝わらずにロータがすれると摩擦熱により発熱が増大する。長方形圧電セラミック素子上に、市松格子状に4箇所の電極を形成し、その内の2個所の対角線上の電極に 40~80KHz程度の高周波電圧を加え、当該素子を伸縮・屈曲させ、素子の縦方向中央、上部に付設されたセラミックチップに楕円運動を生起させ、この運動を当該素子下部に付設されたバネにより、前記セラミックチップの楕円運動を被駆動体に伝達し、被駆動体をリニア、或いは回転運動させる。詳細は公開特許・特開平7-184382、又はウエブサイトhttp://www.nanomotion.com 、和文バージョンはhttp://www.p-andc.com/stmotor/ を参照。

出典:wikipedia