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シート抵抗

シート抵抗 () とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる。一般に三次元の導電性を表す場合、抵抗は次の式で表される。ただし、formula_2は抵抗率で、formula_3は試料の断面積、formula_4は試料の長さである。試料の断面積は、試料の幅formula_5と試料の厚さformula_6の積で表される。抵抗率に厚さを含めて考えると、抵抗は、次の式で表すことが可能である。formula_8がシート抵抗である。シート抵抗の次元は電気抵抗の次元と同じであるため、単位はΩになる。しかし、電気抵抗との混同を避けるために、慣例的にΩスクウェア(Ω□, ohms square)、またはΩ毎スクウェア(Ω/□ または Ω/sq., ohms per square)を使用する。これは、この値が任意の大きさの正方形の領域を電流が片方の端から対向する端へ流れる際の抵抗と解釈できるためである。シート抵抗formula_8を使う実用上の意義は次の通りである。ある厚さformula_6を持つ試料のシート抵抗formula_8が既知であれば、試料の幅formula_5の値と試料の長さformula_4の値を上の式に代入することにより、その試料の実際の抵抗formula_14を推定することができる。具体的には、下記のようなケースで用いられる。

出典:wikipedia

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