半導体リレー（はんどうたいリレー、）は、リレー（継電器）と同じ機能を半導体によって作った電気・電子素子である。半導体リレーには、photo-coupled SSR、transformer-coupled SSR、hybrid SSR という種類がある。従来、コイルと可動接点によって作られていたリレーは、コイルに誘導起電力が発生するためにバイパス回路を設けなければならない、コイルを含む磁気回路にはヒステリシス性により入力されてから出力が発生するまでに遅延が生じる、接点は機械式であるので限られた寿命がある、接点にアークが発生してノイズが生じることがあるなど、非常に欠点の多い素子である。半導体リレーはこれらの問題を解決する。半導体回路のヒステリシス性はコイルに比べて格段に小さい。また誘導起電力が発生しないため、入力回路が簡易になる。接点が存在しないためノイズ対策が不要になるといった多くのメリットがある。通常のリレーと比べて高価である。半導体素子は必ず電圧降下（オン抵抗や順方向電圧降下）があり、負荷電流が大きくなると発熱が無視できなくなる。5A程度の負荷電流ではせいぜい10W程度の発熱量のため簡易な放熱で問題は生じない。しかしながら電動機やヒータの開閉用途では50Aや100Aという電流値のため無視できず強制風冷や大型ヒートシンクが必要となり半導体リレーのメリットは少なくなる。この欠点を改良した製品でノンアーク接触器というのがある。投入時：まず半導体リレーで負荷に通電開始する。次に半導体リレーと並列に接続された電磁接触器を投入する。遮断時：電磁接触器を開放後、ゼロクロス点で半導体リレーを遮断。ほぼ無負荷での開閉と同じ状態で電磁接触器を使用するため格段に寿命が伸ばせ、発熱もほんの数秒分考慮すればよいため大幅に小型化が図れる。ただし、比較的長寿命であるが、熱や振動の影響から素子の急激な劣化による故障があり得るため、通常のリレーが開閉回数により劣化するため交換時期の目安がつくのに対し、寿命の見極めが難しい。

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